制冷设备主要由压缩机、膨胀阀、蒸发器、冷凝器和附件、管路组成。工作原理是通过设备的工作循环将物体及其周围的热量移出，造成并维持一定的低温状态。目前所用的制冷剂主要是氟里昂，如果氟利昂泄漏会对大气臭氧层造成破坏，不仅影响产品的正常出厂，而且对周围环境造成影响，所以，制冷设备检漏工作尤为严格。
常用的制冷设备检漏方法是水检法和压力检。此类方法检漏耗时长，工序繁琐，对于微小泄漏无法定位，存在一定局限性。“超钜微检”制冷设备检漏仪的出现解决此类问题。
“超钜微检”制冷设备检漏仪检测下限可达到5×10-7mbar.l/s，1s定位微小漏孔，没有任何油污染，适用于超净间及其他无油真空场所。