x荧光光谱仪根据各元素的特征x射线的强度，可测定元素含量。仪器由激发源和探测系统构成，x射线管产生入射x射线，激发被测样品，产生x荧光，探测器对x荧光进行检测，具有分析速度快、测量范围宽、干扰小的特点，被广泛用于元素分析和化学分析，特别是在金属、玻璃、陶瓷和建材的调查和研究等方面。
仪器特点：
1、分析速度快。测定用时较短，10～300秒就可以测完样品中的全部待测元素。
2、x射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系，但在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在超软x射线范围内，这种效应更为显著。
3、非破坏性分析，在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散的现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。
4、x射线荧光分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上同一族的元素也能进行分析。
5、分析精密度高，含量测定已经达到ppm级别。
6、制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。
主要用途：
近年来，x荧光光谱分析在各行业应用范围不断拓展，已成为一种广泛应用于冶金、地质、有色、建材、商检、环保、卫生等领域，特别是在rohs检测领域应用广泛的仪器。大多数分析元素均可用其进行分析，可分析固体、粉末、熔珠、液体等样品，分析范围为be到u。