一、湿敏电容
湿敏电容一般是用高分子薄膜电容制成的，常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亚胺、酷酸醋酸纤维等。当环境湿度发生改变时，湿敏电容的介电常数发生变化，使其电容量也发生变化，其电容变化量与相对湿度成正比。湿敏电容的主要优点是灵敏度高、产品互换性好、响应速度快、湿度的滞后量小、便于制造、容易实现小型化和集成化，其精度一般比湿敏电阻要低一些。国外生产湿敏电容的主厂家有humirel公司、philips公司、siemens公司等。以humirel公司生产的sh1100型湿敏电容为例，其测量范围是（1%～99%）rh，在55%rh时的电容量为180pf（典型值）。当相对湿度从0变化到时，电容量的变化范围是163pf～202pf。温度系数为0.04pf/℃，湿度滞后量为±1.5%，响应时间为5s。
二、集成湿度传感器的主要技术指标
产品型号测量范围/（%rh）测量精度/（%rh）电源电压/v电源电流μa输出范围或
输出形式工作温度范围/℃
1>主要特点
hih-3610的性能，
抗污染能力zui强
互换性好，不怕水浸。
hm1520特别适合测量低温度
单片智能化，适配μpsht1510～95±22.45.5串行数据-40～+120
2> 集成湿度传感器的性能特点及产品分类
2.1 线性电压输出式集成湿度传感器
典型产品有hih3605/3610、hm1500/1520。其主要特点是采用恒压供电，内置放大电路，能输出与相对湿度呈比例关系的伏特级电压信号，响应速度快，重复性好，抗污染能力强。
2.2 线性频率输出集成湿度传感器
典型产品为hf3223型。它采用模块式结构，属于频率输出式集成湿度传感器，在55%rh时的输出频率为8750hz（型值），当上对湿度从10%变化到95%时，输出频率就从9560hz减小到8030hz。这种传感器具有线性度好、抗*力强、便于配数字电路或单片机、价格低等优点。
2.3 频率/温度输出式集成湿度传感器
典型产品为htf3223型。它除具有hf3223的功能以外，还增加了温度信号输出端，利用负温度系数（ntc）热敏电阻作为温度传感器。当环境温度变化时，其电阻值也相应改变并且从ntc端引出，配上二次仪表即可测量出温度值。
3 >单片智能化温度/温度传感器
芯片内部包含相对湿度传感器、温度传感器、放大器、14位a/d转换器、校准存储器（e2prom）、易失存储器（ram）是、状态寄存器、循环冗余校验码（crc）寄存器、二线串行接口、控制单元、加热器及低电压检测电路。其测量原理是首先利用两只传感器分别产生相对湿度、温度的信号，然后经过放大，分别送至a/d转换器进行模/数转换、校准和纠错，zui后通过二线串行接口将相对湿度及温度的数据送至μc。鉴于sht11/15输出的相对湿度读数值与被测相对湿度呈非线性关系，为获得相对湿度的准确数据，必须利用μc对读数值进行非线性补偿。此外当环境温度ta≠+25℃时，还需要对相对湿度传感器进行温度补偿。
芯片内部有一个加热器。将状态寄存器的第2位置“1”时该加热器接通电源，可使传感器的温度大约升高5℃，电源电流亦增加8ma（采用+5v电源）。使用加热器可实现以下三种功能：①通过比较加热前后测出的相对湿度值及温度值，可确定传感器是否正常工作；②在潮湿环境下使用加热器，可避免传感器凝露；③测量露点时也需要使用加热器。
露点也是湿度测量中的一个重要参数，它表示在水汽冷却过程中zui初发生结露的温度。为了计算露点，sensirion公司还向用户提供一个测量露点的程序“sht xdp.bsx”。利用该程序可以控制内部加热器的通、断，再根据所测得的温度值及相对湿度值计算出露点。在命令响应界面上运行此程序时，计算机屏幕上就显示提示符“>”。用户首先从键盘上输入字母“s”，然后输入相应的数字，即可获得下述结果：
输入数字“1”时，测量并显示出摄氏温度dgc=xx.x；
输入数字“2”时，测量并显示出相对湿度%rh=xx.x；
输入数字“3”时，打开加热器，使传感器温度升高5℃；
输入数字“4”时，关闭加热器，使传感器降温；
输入数字“5”时，显示露点温度dpc=xx.x。
4 >集成湿度传感器典型产品的技术指标
集成湿度传感器典型产品的主要标详见表1。由表可见，集成湿度传感器的测量范围一般可达到0～。但有的厂家为保证精度指标而将测量范围限制为10%～95%。设计+3.3v低压供电的湿度/温度测试系统时，可选用sht11、sht15传感器。这种传感器在测量阶段的工作电流为550μa，平均工作电流为28μa（12位）或2μa（8位）。上电时默认为休眠模式（sleep mode），电源电流仅为0.3μa（典型值）。测量完毕只要没有新的命令，就自动返回休眠模式，能使芯片功耗降至zui低。此外，它们还具有低电压检测功能。当电源电压低于+2.45v±0.1v时，状态寄存器的第6位立即更新，使芯片不工作，从而起到了保护作用。