*,电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸,属于超净高纯试剂,是一种微电子技术发展过程中*的关键基础化学试剂。目前广泛应用于大规模集成电路(ic)、半导体等微电子工业,用作清洗和蚀刻剂.随着中国微电子工业的高速发展,电子级硫酸的需求量日益增加,供不应求,电子级硫酸有着良好的应用前景.
电子级硫酸主要应用于电子硅晶片生产过程的清洗和蚀刻。
硅圆片在加工过程中,常常会被不同的杂质所沾污,可引起大规模集成电路产率下降50%左右。硅圆片上不溶性固体颗粒或金属离子可能在微细电路之间导电,使之短路,几个金属离子或灰尘足以使线宽较小的大规模集成电路报废。
