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真空箱氦检漏系统-博为光电|质量可靠-氦检漏系统

2025/12/8 19:49:32发布29次查看
真空箱氦检漏及回收系统设计关键技术
(1)真空箱体设计:首先、要保证箱体在抽真空过程中受力发生非弹性形变,造成箱体开裂。第二、要保证良好的气密性,真空箱一般是焊接成型,根据真空系统要求,焊缝无气孔、接痕, 表面光滑, 焊后焊缝表面磨光,真空箱氦检漏系统, 同箱体板一起抛光。这样处理的箱体内表面光洁, 表面藏气较少。第三、真空箱门开合自如,开合过程中不剐伤箱体密封圈,为提高箱体密封圈的使用寿命,设计时尽量考虑使密封圈在垂直箱体法兰面方向上受力,氦检漏系统,尽量避免斜向受力。
(2)真空管路设计:真空管路设计首先要考虑管道流导要与真空泵的抽速相匹配,避免大马拉小车现象。
(3)检漏系统设计:首先、系统应具备检测大漏、中漏、微漏功能,系统一但出现大漏应立即中止检漏并给出报警,防止出现大漏后,继续执行氦检工艺, 造成系统累积大量氦气而无法清除,也即是出现“氦”现象。其次、一但出现大漏,应有清氦措施,大程度的清除氦本底。
不锈钢焊接中存在的问题
不锈钢材料的耐腐蚀的性能和耐高、低温应用的性能都是很好的,但是经过焊接后的不锈钢焊缝及其热影响区的情况就大为不同了,它存在着裂纹、气孔、脆化、晶粒粗大的现象。因此,在制造超高真空和一般的高真空容器时,必须十分重视这个问题。
奥氏体不锈钢在焊接中及焊接后存在的问题主要有:
(1)焊缝中的热裂缝。奥氏体不锈钢焊接工艺中应该注意的问题是焊缝金属的热裂缝(图3-3),在焊接热影响区的晶界上析出铬的碳化物以及产生焊接应力。
真空系统设计(不锈钢超高真空容器的焊接)
(a)焊缝中的纵向裂缝; (b)焊缝中的横向裂缝; (c)焊縫中弧坑裂缝;(d)热影响区内的横向裂缝; (e) 热影响区内的纵向裂缝
热裂缝也称为结晶裂缝,是在焊接熔池的一次结晶过程中,当焊缝金属处于固-液体状态时形成的,它们是由于相邻的晶体沿晶间夹层被分开的结果。
如何判断真空系统是否存在真实的泄漏
压升测试
压升测试也叫保压测试或保真空测试。在真空下关闭真空泵和腔室之间的阀门,放气、虚漏或者泄漏会造成腔室的压力升高(反弹),真空氦检漏系统,将压力增加除以经过时间,可以计算出真空系统的压力上升速率,并绘制成如下图所示的曲线。压力上升和下降的速度通常以pa/hr表示,真空氦检漏回收系统,对于一般的工业真空设备,保压测试时,超过1pa/hr的压升率就需要调查和解决问题,有些高真空的设备,需要0.5pa/hr甚至更低的压升率
如果多次测量的压升率基本恒定不变,那么很可能系统有真实的泄漏。对应的,随着时间的推移,其压升率下降,即系统压力的增加速度会随着时间的推移而减慢,则暗示有虚漏或放气(可能也有小的泄漏)。
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