真空探针台一般用于复杂, 高速精密器件进行表面观测以及各种性能测试的仪器, 通过测试可以产品的质量和性并缩减研发时间和器件制造工艺的成本. 探针台主要应用于半导体行业, 光电行业, 集成电路以及封装的测试
为什么需要真空环境?
1. 真空探针台通过搭配分子泵组, 配合真空吸附卡盘及真空吸附探针座的使用, 通过空气压缩, 固定样品及探针座.
2. 由于晶圆在低温情况下进行探测, 水气将会出现并且将会冻结晶圆. 水气会影响测量, 导致测量失败. 真空腔中的水气需要通过真空泵排出.
3. 当晶圆加热过 300摄氏度, 400摄氏度, 500摄氏度或者高温度时, 会发生很强烈的氧化. 温度越高, 越加大硅片表面的氧化, 氧化将使晶圆降低电学性, 物理性和机械性. 真空腔中的氧气需要通过分子泵组来排出.
上海伯东涡轮分子泵组应用于低温真空探针台客户案例:某企业通过上海伯东采购德国 pfeiffer经济型分子泵组 hicube 80 eco, 分子泵与隔膜泵结合, 整机设计, 即插即用, 提供清洁, 低振动, 稳定的高真空环境.
上海伯东pfeiffer普发分子泵组hicube eco 技术规格
泵组型号
进气法兰
分子泵
型号
抽速
l/s
限真空
hpa
前级泵型号
前级泵
抽速 m³/h
hicube 80 eco
dn 40 iso-kf
hipace 80
35
1x10-7
mvp 015-2
0.5
dn 63 cf-f
hipace 80
67
1x10-8
mvp 015-2
1
dn 63 iso-k
hipace 80
67
1x10-7
mvp 015-2
1
pfeiffer 涡轮分子泵组整体模块化设计, 内部集成前级泵和分子泵, 即插即用, 抽速范围 35 至 685 l/s, 限真空 5x10-10 hpa, 提供经济型分子泵组 eco,标准型分子泵组 classic和涡轮分子泵组 pro满足不同应用, 搭配pfeiffer 真空计共同使用.
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上海伯东: 罗女士
伯东企业（上海）有限公司专注于pfeiffer,氦质谱检漏仪,intest等