性能特点:
⊙配气速度快、随用随配、适用性强;
⊙操作简便、规范安全、易于掌握;
⊙可加热清洗;
⊙智能终端控制;
⊙体积小、重量轻、便于携带。
技术指标:
⊙稀释范围:5:1~20000:1;
⊙双路气体质量流量计(mfc)控制;
⊙流量重复性:≤±0.5%f.s.;
⊙流量线性误差:≤±0.2% f.s.;
⊙配气不确定度:±1%;
⊙加热温度范围:0~200℃,可任意调节,温度数值显示3位;
⊙工作条件:电源为220v±10%,50±1hz;温度(0~40)℃;湿度小于85%rh;
⊙整机尺寸:380 mm×300 mm×160 mm;
⊙重量:9kg。
