很多三坐标测量机有一个z轴防碰撞检测控制。在z轴的周围装有多个拉伸弹簧。这些弹簧就像一层隔离网，每当z轴与其他物体接触，弹簧就会对地短路，通过一定的处理，产生一个报警信号，报告给主cpu进行相应的错误处理。这种装置可避免z轴和测头与外界的碰撞。
二、三坐标x轴的动平衡
ｚ轴是铅垂方向运动的，在自动作用下使ｚ轴向下运动。一般情况下，测头都装在ｚ轴下端，若ｚ轴失去平衡或速度过快都容易使测头收到损坏。为保护测头及ｚ轴的安全，三坐标对z轴状态实施监测，一旦三坐标处于非正常状态，立即发出紧急制动信号，使z轴锁定。
三坐标有一个平衡机构，通过气缸活配重使z轴处于动态平衡状态。当使用平衡气缸时，z轴与气缸的活塞之间用机械连接。当ｚ轴运动时，活塞也随着上下运动，压缩空气经减压阀入气缸或从气缸中释放。在其刚上部装有偶一个判刑的闸瓦。如果供给气缸的压力正常，闸瓦打开，若压力低于设定的阈值，闸瓦立即锁紧，将活塞杆抱紧，防止ｚ轴自动下落。
压力传感器与汽缸中的压缩空气通过检测气管连接。传感器的电输出与两个比较器连接，分别检测压力与最小压力。一旦气缸压力超出设定的范围，比较器状态就会发生彪悍，产生报警信号，报告主ｃｐｕ进行异常状态处理。
采用这种方法，可使ｚ轴处于动平衡状态，保证运动平稳，同时也保障了测头的安全。
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