我司的高精度气体质量流量控制器mfc,最小量程可以做到2sccm(满量程流量),可以控制到0.01sccm,响应时间<200ms,很适合微流控制。
对于这种微流控制,即使是用模拟信号操控,也需要选用数字款流量控制器(既带有数字信号,也带有模拟信号),其内部的处理方式是数字化芯片控制,而模拟款(只带有模拟信号)则只靠电路的线性控制,数字款mfc控制的更稳定、更精确,尤其是对微小流量气体的流量控制,会体现的更明显。
以下是某客户定制的满量程为5ml/min的流量控制器,演示视频,客户要求流量微小流量控制到0.25ml/min。
