1．选择new，建立一个新的程序
2．选择mrxsurface，建立一个srp探头测量程序，按数字键选择
3．输入程序编号，编号可从1－100，不能与前次编号重复，按数字键输入编号
4．输入程序名称
5．输入程序标识
6．探头类型选择，选择所用连接主机探头的类型
7．单位选择，直接按数值键选择
8．精度选择，小数点后面小数个数
9．测量次数选择，即测量多少次出来一个读数
10．校准时测量标准片次数选择
11．极限zui大值设定（选off关闭,选on需输入zui大值）
12．极限zui小值设定（选off关闭,选on需输入zui小值）
13．zui多存储读数个数设定，设定该程序可存储的读数
14．x&r特性曲线组的大小
15．设定在下次进入该程序时是否清除上次测量说得的统计量即特性曲线
16．设定测量细线,如果关闭,测量大铜面厚度
17．偏移量设定，设定该值后，测量时显示的读数为测量值加上该偏移量18．传导率系数设定，设定该值后，测量时显示值为测量值乘以该值
19．设定完成，按任意键进入程序激活（及进入校准）
20．把探头放于*块标准片上，准备好后按键
21．输入*块标准片铜箔的厚度，按回车确定
22．把探头放于第二块标准片上，准备好后按键
23．输入第二块标准片铜箔的厚度，按回车确定
24．程序设定并校准完成，按任意键保存并可以使用了
二、cmi700测厚仪srp探头的校准
进入测量界面后，本程序可以进行使用了。在该界面下可以进行再校准，方法如下
1．在测量界面下按键，进入校准界面
2．在校准界面下按显示屏幕所示的std1键，进行*块标准片校准，把探头放于*块标准片上，按键，输入*块标准片铜箔厚度，按回车确定
3．*块校准完成后，按屏幕所示的std2键，进入第二块标准片校准，把探头放于第二块标准片上，按键，输入第二块标准片铜箔厚度，按回车确认
4．第二块标准片校准完成，按屏幕所示done键完成校准
注意：srp探头可测量不同线宽上的铜箔厚度，但需要测量某一线宽的铜时，在建立好程序之后更改程序参数,把细线选项打开,输入细线的线宽保存即可。
三、cmi700测厚仪srp探头测量表面铜厚
在程序清单界面下按回车键两次进入所用的srp程序，把探头直接接触表面铜箔即可测量。当测量某线上铜厚时，探头上的四个探针必须同时接触铜箔，且探针应放于铜线的中间进行测量。