碳脱氧法
在碳载型催化剂作用下(在相应的温度下),普氮中之残氧和催化剂本身提供的碳发生反应,生成co2。反应式:c o2=co2。再经过后级除co2和h2o获得下列组成的高纯氮气:n2≥99.999%,o2≤5×10-6,co2≤5×10-6,h2o≤10.7×10-6。
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在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统须先用高纯氮置换,再用高纯氦置换。
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氮气纯化装置是怎么把它纯化成郑州标准气呢,它的工作原理你是否了解过呢,下面【郑州瑞安气体科技有限公司】来带大家了解一下。
氮气纯化装置以深冷法制氮、psa变压吸附制氮,氮膜分离制氮的普通氮气为原料,经过加氢催化除氧,冷凝、吸附二级干燥,过滤,除去氮气中的杂质氧、二氧化碳、水份和尘埃,获得郑州标准气。
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