使用真空发生器的回路中的换向阀，有供给阀和真空破坏阀。使用真空泵回路中的换向阀，有真空切换阀和真空选择阀。
供给阀是供给真空发生器压缩空气的阀。
真空破坏阀是破坏吸盘内的真空状态，将真空变成大气压或正压力，使工件脱离吸盘的阀。真空切换阀就是接通或断开真空压力源的阀。真空选择阀可控制吸盘对工件的吸着或脱离，一个阀两个功能，可以简化回路设计。
供给阀印设置于正压管路中，可选用一般换向阀。真空破坏阀，真空切换阀和真空选择阀设置于真空回路或存在有真空状态的回路中，故必须选用能在真空压力条件下工作的换向阀。真空换向阀要求不泄露，且不用油雾润滑。故使用座阀式和膜片式阀芯结构比较理想。通径大时可使用外部先导式电磁阀。不给油润滑的软质密封滑阀，由于其通用性强，也常作为真空用换向阀使用。
smc 速度控制阀的种类繁多。按安装方式，有直接安装型（接头体靠螺纹连接在气缸通口上，另一端为快换接头或配管）和面板安装型（将调速阀固定在面板上，气路连接为快换接头）。按气体流动方向，有直通式（进出口在一条线上）、弯头式（进出口方向成90°）和万向型（出口方向可绕进口方向转动）。按阀体材质分，有金属阀体和树脂阀体。按功能分，有标准型，带残压释放阀的形式（as□fe系列）不锈钢阀体形式（as□fg系列，可用于耐腐蚀的环境中）、低俗控制用的形式（as□fm系列、10~50mm/s)/洁净环境用的形式（as□fpg、as□fpq系列，用于洁净室）、用选举调节的形式（as□1f-□d系列）、用专用工具调节的形式（as□1f-□t系列）。此外还有双向型速度控制阀asd系列。带先导式单向阀的速度控制阀asp系列。smc as系列调速阀、带消声器的排气节流阀阀asn2、具有固定节流孔和急速供气机能的速度控制阀ssc（ass）。
关于smc真空电磁阀的选用和流量控制阀系列分类
关键词：真空电磁阀 流量控制阀 换向阀 真空破坏阀 真空泵