名 称：高精密匀胶机
型号：ez6
原产地：美国，usa
应用：在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。
产品概述：
easycoater 6匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至6英寸圆晶尺寸底物，使用工业级直流马达和plc控制，5寸全彩触屏人机界面操作，简单易用。ez6匀胶机在材料、化学或生物等实验室被广泛用于薄膜制备，纳米薄膜研究等相关领域。
ez6匀胶机设计标准为结构紧凑、简单易用，程控操作，且能够升级自动点胶功能，尺寸上可从通用的手套箱过渡舱内进出，具有优异的性价比。亦可提供分体式设计，进行嵌入式安装，与手套箱进行配合。
性能参数：
l支持wafer尺寸：1cm-150mm（6圆晶）
l速度可调范围：100-10000rpm
l加速度可调范围：100-30000rpm/s
l转速分辨率：1rpm
l转速精度：＜±5rpm
l可编程10组10步程序
l宽电压输入：ac100-230v
产品特点：
l100w直流无刷电机，plc控制
l5”全彩触摸屏
l系统中英文可选
l带一只自动点胶端口，可升级自动点胶功能
lhdpe内腔，sus外壳，耐溶剂pc透明盖
l真空互锁及盖子开关互锁安全功能
产品外型尺寸：
358mm(d)*256mm(w)*258mm(h)