l led 光源波长：505 nm
l 测量耗时：5到10 秒
l z 方向测量范围：250μm，分辨率：2nm
l x/y 方向，平台移动范50mmx50mm，（马达驱动），分辨率：0.3μm
l 物镜：10x、20x、50x、100x
功能及特性
l 检测样品表面形貌
l 测量样品的高度、深度以及起伏角度（纳米级分辨率）
技术指标
l led 光源波长：505 nm
l 测量耗时：5到10 秒
l z 方向测量范围：250μm，分辨率：2nm
l x/y 方向，平台移动范50mmx50mm，（马达驱动），分辨率：0.3μm
l 物镜：10x、20x、50x、100x
功能及特性
l 检测样品表面形貌
l 测量样品的高度、深度以及起伏角度（纳米级分辨率）