真空衰减测试系统：
真空衰减测试系统由一个真空源和压力传感器组成。真空源用于在测试周期开始时在测试腔内建立所需的真空,而一只压力传感器(绝压或表压)或与另一只压差传感器结合,前者用来监测真空度,后者用来监测在测试周期内压力随时间的变化。预期使用较高目标真空度(如+1mbar或不到+1mbar,)的测试系统,宜设计成较高的目标压力测量精度和z小的系统泄漏,气体外泄可能影响测试中测量信噪比。
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关键词：压力传感器 传感器