xp-63x压电纳米定位台为压电陶瓷直驱x轴运动定位台，内置高可靠性压电陶瓷，采用无摩擦柔性铰链导向机构，具有刚度大、分辨率高、响应速度快等特点，在精密定位领域中发挥着至关重要的作用。
特点
•行程范围60μm
•承载能力5kg
•重复定位精度可达0.05%f.s.
•亚毫秒响应时间
刚度大闭环精度高
xp-63x系列压电纳米定位台有*的结构设计，具有大机械刚度、大承载、更高的空载谐振频率等特点。负载情况下也具有很高的使用频率，响应时间可以实现亚毫秒级。
闭环版本配置应变传感器，可实时检测位置信号并反馈给闭环控制器，控制器通过pid 算法对检测到的位置信号进行修正，从而实现纳米级的精密定位。
频率负载曲线
技术参数
型号：xp-633
运动自由度：x
行程范围（0~120v）：48μm
行程范围（0~150v）：60μm
闭环传感器类型：sgs
闭/开环分辨率：2/0.3nm
闭环线性度：0.15%f.s.
闭环重复定位精度：0.1%f.s.
俯仰/偏航/滚动：<30μrad
推/拉力：480/80n
运动方向刚度：10n/μm
空载谐振频率：1.5khz
闭/开环空载阶跃时间：5/3.2ms
承载能力：5kg
静电容量：7.2μf
材质：铝
重量：450g