产品特点
• θx, θy 二维偏转
• 大偏转角度2.8mrad
• 亚毫秒响应时间
• 闭环定位精度高
•温度稳定性高
产品应用
• 图像处理/ 稳定
• 隔行扫描，抖动
•激光扫描/ 光束偏转与稳定
•光学/扫描显微
•光过滤/ 开关
高可靠性及稳定性
xd-301系统内部装配带有预紧力的高可靠性压电促动器，被集成在成熟的、经过fea 建模分析的铰链导向系统。压电促动器为叠堆共烧型压电陶瓷，可提供更好的稳定性及可靠性。
先进的铰链/ 杠杆设计将惯性小化，具有非常快的响应速度，在毫秒级范围。
xd-301还提供了亚微弧度的分辨率。内部集成高分辨率、全桥的应变传感器（sgs）实现了的位置控制，具有优异的重复定位精度。
闭环定位精度
线性度为0.2%f.s.，重复度为0.1%f.s.。
闭环重复度
闭环重复度
开环曲线
开闭环曲线
闭环分辨率
闭环分辨率
技术参数
技术参数