试验样品:8mm x 8mm的厚度1 mmde ta2型纯钛线
试验流量简介:通过对试验样品进行刻蚀时间长短不同形成不同的清洁表面,然后通过仪器分析其亲水性
用于刻蚀的kri考夫曼聚焦型射频离子源rficp 380技术参数:
射频离子源型号
rficp 380
discharge阳极
射频rficp
离子束流
>1500 ma
离子动能
100-1200 v
栅极直径
30 cm φ
离子束
聚焦
流量
15-50 sccm
通气
ar, kr, xe, o2, n2, h2,其他
典型压力
< 0.5m torr
长度
39 cm
直径
59 cm
中和器
lfn 2000
推荐理由:
使用kri考夫曼聚焦型射频离子源rficp 380可以准确、灵活地对样品选定的区域进行刻蚀
试验结论:
n2和nh3的混合气体射频离子源处理纯钛表面,可以在表面引入氨基,但处理时间并不是越长越好,改性后的钛片表面的亲水性得到较大的提高,但随放置时间的增加其表面亲水性会变差,在5h内,改性钛片保存在氮气气氛中有利于保持其亲水性.
伯东是德国pfeiffer真空泵,检漏仪,质谱仪,真空计,美国kri考夫曼离子源,美国intest高低温冲击测试机,美国ambrell感应加热设备和日本ns离子蚀刻机等进口品牌的代理商.