1 热塑压制
碳化硅材料与剧烈加热的物料的可塑性有关，石墨球增碳剂生产工艺，料此法在于将物加热至热塑状态后压制。当热塑压制时，致密化系通过当泥料受热时发生剧烈塑性变形时向泥料加压的方法来达到的。通常系向预先加热粗坯，然后将其放入压模中再施加压力。
2 缓慢扩散
碳化硅制品的另一种热压过程是利用缓慢的扩散烧结原理。此法与热塑压制法相比，通常需要在较高的温度下进行，石墨碳球生产厂家，并且占用较长的时间。向在模型内直接加热若干时间的粉料施加压力。
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与传统硅功率器件制作工艺不同，石墨碳球用什么做的，碳化硅功率器件不能直接制作在碳化硅单晶材料上。必须在导通型单晶衬底上额外生长高质量的外延材料，并在外延层上制造各类器件。目前，主要的外延技术是化学气相沉积（cvd），通过台阶流的生长来实现一定厚度和掺杂的碳化硅外延材料。随着碳化硅功率器件制造要求和耐压等级的不断提高，碳化硅外延材料不断向低缺陷、厚外延方向发展。
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