美国comdel电源维修常见型号包括:clx2750;clx2500;clx-600h;cx600as;cx-5000s;cx-3500s;cx-2500s;cv500;cdx2000等。
comdel成立于1966年,总部设在马萨诸塞州格洛斯特,为半导体,薄膜,光伏,平板和工业加热行业设计和制造射频和直流电源和过程仪器。 产品包括射频发生器,直流发电机,阻抗匹配网络,多通道合成器和静电卡盘电源等。
维修范围:刻蚀、rie、平行板、icp、pecvd、射频溅射、cvd 和pvd等系统,工业系统中感应加热和电介质加热设备的电源,烘干、塑化、硅晶体生长和平板显示器领域应用电源,直流偏压和硬镀膜,信息设备(ite)及轻工业系统、镀膜设备。 从事大功率射频rf电源及匹配器维修,为太阳能光伏、半导体、液晶面板、镀膜行业维修pvd、cvd、pecvd、mocvd、ion imp设备电源,包括直流、高压、脉冲、微波、匹配器、rpsc、chiller射频电源维修。
当滤波电容上无380vdc左右电压时,说明pfc电路没有正常工作,pfc模块关键检测脚为电源输入脚vc,启动脚vstart/control,c/rt脚及v0脚。,测试一板上滤波电容上无380vdc电压。vc,vstart/control,c/rt波形以及v0波形均正常,测量场效应功率开关管无v0波形,由于fa5331(pfc)为贴片元件,机器用久后出现v0端与板之间虚焊,v0信号没有送到场效应管。将v0端与板上焊点焊好,用万用表测量滤波电容有380vdc电压。当vstart/control端为低电平时,pfc亦不能工作,则要检测其端点与外部相连的有关电路。
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