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P18系列压电扫描台有哪些参数
2025/10/16 23:05:02发布
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为1-3维直线扫描台。台体采用机构放大设计原理,内置高可靠性压电陶瓷,可以实现x、xy、xyz大370μm 的高速扫描,大通光孔径为ø35mm,多种位移行程及规格型号可供选择,适用于大行程多维扫描等应用。
特性:
•大位移370μm
•大承载3.5kg
•通孔直径:ø35mm
1~3维扫描台
p18压电扫描台包括x/xy/xyz三种结构形式,可以 满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。
典型应用
•闭环重复定位精度高 •响应速度快
•图像处理与稳定 •扫描显微
•干涉/计量 •表面检测
•半导体测量 •光学计量
大位移、大承载、高刚度、高频响
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