model
m3030v
m3030a
流量范围(n2)   10sccm ~ 30000sccm   5sccm ~ 30000sccm
相应时间   ≤2sec   ≤2sec
精准度   ≤±1% fs   ≤±1% fs
重复精度   ≤±0.25% fs   ≤±0.25% fs
 输入/输出信号   0~5vdc   0~5vdc or 4~20 ma
供电电源   ±15vdc or 24 vdc, 350ma   ±15vdc or 24 vdc, 350ma
  耐压   ≤90bar   ≤90bar
  工作环境温度   0~50 °c   0~50 °c
漏率   1*10e-9 atm cc/sec   1*10e-9 atm cc/sec
 使用范围   2 ~100% 2 ~100%
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刘志新
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