这种修正技术称为“切割和缝合”(cutting and stitching),通常只将其称为缝合。让我们来看一下它的工作原理。图中给出了一对无法正确分解成两个光罩的典型版图配置。
左边上面一行显示了一个与其本身有小间距问题的单个多边形。换言之,被高亮显示的小间距在多边形的边缘之间是不允许的,除非多边形的边属于不同光罩。因为所有涉及小间距的多边形的边均位于同一多边形上,所以其必须位于相同的光罩上。修正方案是增加这些间距,这就需要更多的设计区域。左下行显示了一个奇数圈错误。这三个多边形无法拆解成两个光罩,因为用二除三时,一定会存在余数。
