其实利用在检测芯片的过程当中,其实这种方法是非常有效的,关于emmi分析国内目前的技术通常已经达到了要求,海南显微镜,在对芯片进行检测过程当中,超声扫描显微镜,利用微光显微镜它的效果通常是非常明显的。比如说如果说亮点被遮掩的过程当中采用的是利用境外红波的发光,红外显微镜,通过抛光的处理来进行探测,这样才能够有效的去发现金属归沉寂的有效缺陷。
emmi可广泛应用于侦测各种组件缺陷所产生的漏电流,包括闸*氧化层缺陷(gate oxide defects)、静电放电*(esd failure)、闩锁效应(latch up)、漏电(leakage)、接面漏电(junction leakage) 、顺向偏压(forward bias)及在饱和区域操作的晶体管,可藉由emmi定位,找热点(hot spot 或找亮点)位置,进而得知缺陷原因,帮助后续进一步的失效分析。
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