洁净室设计要点:
1.洁净室无尘室系统:室内的空气净化系统可分为水平层流、垂直层流和乱流。选择气流形式一则参照惯例,10万级洁净室,二则取决于房间的工作参数。
2.洁净度与换气次数:房间的洁净度取决于单位时间的换气次数,因此慎密考虑房间的工作性质、以及生产工艺要求,再决定净化系统的技术参数。
3.结构:为了保证气流几乎不受干扰,就必须进行结构设计,必要的谨慎可以防止房间里任何地方的灰尘积累。
工业洁净室电气设备
近年来,以电子设备为代表的高技术产业飞速地向前发展着,在这些*的技术领域中,日新月异地进行技术革新,并把产品的微细化、高质量化、超化作为目标,而且为了谋求生产的高质量而建造高质量的洁净室。
用于超大规模集成电路(vls1)、钟表、机械、光学仪器及电子仪器等制造、加工或装配、食品生产的各类洁净室,医院洁净室,根据生产用途不同,而使用各种各样的设备。超大规模集成电路制造工厂的生产设备,因为有下述各种情况,必须精心设计、精心施工。
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