激光衍射测径仪，利用衍射原理测量细线的直径，此技术与前两项刚好相反，只适用于测小直径的细丝，而且越细越好，因为此技术是利用衍射原理，理论只有当波长与被测物相近或大于被测长物时衍射明显。其产品在测量5um到300um的细丝是没问题的，根据其广告宣传大可以测量到500um。其精度由于限于标准样件和测试环境的影响，现在只有0.2um左右，但其重复精度相当高，这是细丝测径仪的一个发展方向。
在大直径测量方面， 据广告资料显示，现在市场上明锐做的测径仪大已经可以测量400mm，而真尚有测径仪通过多传感器协同工作也可测直径高达500mm，上海共久电气有限公司测径仪通过双光路边缘测量原理，已经实现1600mm大外径测量，并以在大型管道行业投入应用。大直径测量主要有两个方向，一个是通过双镜头实现，但这样会牺牲一些小直径的测量范围，另一种是通过单镜片实现，但这样对镜头的加工难度和质量保证及成本控制上提出较大要求。