臭氧杀菌的效果主要受其浓度、微生物种类、作用时间、温度、ph值、水的理化性质、杂质等因素影响。
⑴臭氧对各种微生物杀灭效果不同。实验表明，臭氧对人和动物的致病菌和病毒如*、大肠杆菌、乙肝病毒、沙门式菌等具有很强的杀灭性，即使对化学消毒剂有着较强耐受力的霉菌也有较强的杀灭性；
⑵温度、湿度也影响其杀菌灭毒效果。通常，温度低、湿度大杀菌效果好。实验证明：当环境相对湿度小于45％，臭氧对空气中的悬浮物几乎没有杀灭性，在同样温度下，相对湿度超过60％时，杀灭效果逐渐增强，在相对湿度为90％时，达到*灭菌效果；
⑶臭氧的浓度也影响其灭菌能力，浓度在0.2mg/l以下，几乎没有杀灭作用。
臭氧杀菌的特点
、快速
臭氧仅在1min内就可以100％杀死细菌、酵母和黑曲霉菌。臭氧水灭菌消毒不同于一般灭菌、消毒剂，如次氯酸（hocl2）、二氧化氯（clo2）的灭菌、消毒是进行性、累积性的，臭氧水灭菌消毒则急速性的，当臭氧的浓度超过阀值，消毒、杀菌就会瞬时发生。如清净水中臭氧浓度达0.4－0.5ppm时，在0.5～5min内就可以致死细菌。
安全、可靠
臭氧的分解产物是氧气，不会产生残留污染。另一方面，它作为气体，扩散性好，浓度均匀，尤其在高湿度环境中，比紫外灯更实用，而且操作方便，安全可靠。臭氧对人体毫无影响。
价格便宜
生产1吨0.5～1.5ppm浓度的臭氧水仅需0.8元。是世界上zui廉价的消毒灭菌剂。