真空泵种类
工作压强范围（pa）
起动压强（pa）
活塞式真空泵
旋片式真空泵
水环式真空泵
罗茨真空泵
涡轮分子泵
水蒸气喷射泵
油扩散泵
油蒸气喷射泵
分子筛吸附泵
溅射离子泵
钛升华泵
锆铝吸气剂泵
低温泵
1×105—1.3×102
1×105—6.7×10-1
1×105—2.7×103
1.3×103—1.3
1.3—1.3×10-5
1×105—1.3×10-1
1.3×10-2—1.3×10-7
1.3×10—1.3×10-2
1×105—1.3×10-1
1.3×10-3—1.3×10-9
1.3×10-2—1.3×10-9
1.3×10—1.3×10-11
1.3—1.3×10-11
1×105
1×105
1×105
1.3×103
1.3
1×105
1.3×10
<1.3×105
1×105
6.7×10-1
1.3×10-2
1.3×10
1.3—1.3×10-1