真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三*型溅射离子泵,(或二*型非对称阴*溅射离子泵)对有一定的抽速,真空泵维修规格,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,气环式真空泵维修,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空。有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
为保持工作室内清洁卫生,有利干工作人员的身体健康,应用皮管将排出的气体直接引到室外。
爱德华真空泵长期未工作或环境温度较低时,可能引起起动困难,这时应使真空泵的抽气口通大气,用丰转动皮带轮(不贾接电源入使真空泵旋转数周后再起动。若是直接联真空泵,可继续动电动机数次,将爱德华真空泵腔内的存油排入油箱,真空泵维修,即可起动。若然不行,可用辐射加热或红外灯对真空泵直接加温,直到能动为止。
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