自动化晶圆处理 > 检查工具 > wpr-单晶圆展示器-旋转
描述
自动单晶圆展示器设计用于将晶圆呈现给操作员以进行检查或从晶圆盒中取出晶圆以及用于宏观检查应用。wpr 可用于晶圆翻转（反转）晶圆 180°，用于背面应用。专为 iso 等级 3（fs209e 等级 1）设计；抗静电结构。
wpr 的特点：
旋转升降叶片允许从一个操作员位置进行完整的正面和背面晶圆检查。
规格
晶圆尺寸76, 100, 150, 200
电源要求220vac 至 24vdc 3 安培 电源单独出售
产品尺寸16宽 x 14长 x 21高
重量50磅
附加信息
装运重量220磅
装运尺寸15 × 12 × 20 英寸
wpr 可用于晶圆翻转（反转）晶圆 180°，用于背面应用。专为 iso 等级 3（fs209e 等级 1）设计；抗静电结构