隔膜真空泵主要性能（真空度）到达规划请求或满意技术要求，附属设备一切；仪器运转平稳，动静正常，无过热现象，关闭杰出。旋片式真空泵设备光滑体系无缺，光滑油质符合规则请求，并定时进行检查，换油。各种仪表（如真空表等）指示值准确，并定时进行校验；各阀门启闭灵活、密封杰出，无泄漏景象；管道无泄漏，并定时进行检查。电动机装备合理，运转正常（温升和动静正常），电气线路安全牢靠，有接地保护措施，电气设备（控制柜）牢靠，电气仪表指示准确；安全防护设备可。
设备及冷却体系设备整齐，无锈蚀。水环式真空泵冷却体系运转正常，冷却设备无缺，排水温度不超过规则请求，应有断水保护设备。一般来说所用的工作液都是水。作用在转子叶轮上的能量被液体接收并传给被紧缩的气体，从而就造成了水环的温度升高。水环的部分水与气体一同紧缩扫除泵外。在紧缩过程中发作的大量热量被带走。因此需求不断的注入水，以使水环泵的工作温度能够保持稳定。在大都的水环式真空泵中，其工作温度约为15—20℃，它取决于所注入水的温度。实际上，水环泵的极限压力并不十分重要，由于不一样的液体，在压力低于50—60hpa时，会发作气蚀景象，泵的部件会遭到损坏。当泵挨近极限压力时，抽速很低，泵入口处的水开端沸腾。当转至泵的出口时，构成的气泡开端破裂。这么就会发作很大的噪声，引起泵的驱动轮和泵腔等部件被逐步损坏。这种景象一般称作气蚀景象。一旦气蚀景象发作，就要通过小阀引进少数的空气。在这种情况下，在人口官道上开个小孔，以便定量地注入水喝空气等，如果运用气体喷射器，气蚀景象就不会发作了。