对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三*型溅射离子泵，（或二*型非对称阴*溅射离子泵）对有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。液环真空泵
水环式真空泵在进行使用的过程中，其结构简单紧凑，液环真空泵，在使用时制造精度要求不高，容易加工。泵的转数较高可与电动机直联，小型真空泵哪家*，无须减速装置。吸气均匀，工作平稳可靠，操作简单维修方便。
真空度高、负压大、流量小、安全性好，密封可靠，减少设备维护量。水环式真空泵的工艺好，无腐蚀性、不溶于水、不含固体颗粒的气体，以便在密闭容器中形成真空和压力，吸入气体中允许混有少量液体。节水、节电、节油、耐腐蚀性能参数:使用寿命长。液环真空泵
真空泵我们很多行业都在使用，它的类型也有很多种，能适应多种环境、多种场合、多种行业进行使用。设备本身也是优点众多，很多人不了解它具体的特点，其实一般归纳起来有以下几个点：
泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染。
泵腔内无压缩，小型真空泵订购，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感。
压缩比较低，对氢气抽气效果差。
转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。液环真空泵
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