氮化硅可利用加热至180°c的*溶液(85%)来进行蚀刻(5)。其蚀刻速率与氮化硅的成长方式有关，以电浆辅助化学气相沉积方式形成之氮化硅，由于组成结构(sixnyhz相较于si3n4)较以高温低压化学气相沉积方式形成之氮化硅为松散，因此蚀刻速率较快许多。
但在高温热*溶液中光阻易剥落，因此在作氮化硅图案蚀刻时，通常利用二氧化硅作为屏蔽。一般来说，氮化硅的湿式蚀刻大多应用于整面氮化硅的剥除。对于有图案的氮化硅蚀刻，还是采用干式蚀刻为宜。
不锈钢蚀刻后表面平滑度差的原因是什么。
蚀刻后不锈钢工件表面平滑度差，对于零件的后期使用与装配肯定会有不好的影响，一般来说合格蚀刻加工的零件表面平滑度是比较高的，只要管控好每一个工序，基本不会出现什么问题，那么不锈钢蚀刻后表面平滑度差的原因是什么呢，下面兴之扬就为大家整理一下，大家对应一步步排查。
一：蚀刻液里的杂质含量太高，蚀刻不准确，会造成表面粗糙，更换蚀刻液就可以解决；
第二：一般不锈钢蚀刻会采用*来进行，如果*的质量也会影响工件表面平滑度，选择质量好的*供应商是很有必要的；
第三：活化与添加剂含量不足，这就需要根据经验加强活化过程，以及定期补加合适区间的添加剂；
第四：氯离子浓度高或者*离子浓度过低，也会引起工件表面平滑度差，因此要做好元素浓度的调整，氯离子过高可以更换部分溶液，或者添加适当的hno3和nh4no3进行稀释；
第五：如果不锈钢原材料质量不过关，材料晶粒比较粗糙，那么时候后的工件表面也会比较粗糙，因此要做好原材料的质量管控。
金属蚀刻温度对蚀刻速度的影响：naoh浓度对蚀刻速度影响当蚀刻液中naoh浓度一定时，提高蚀刻温度，蚀刻速度加快，通过实验发现蚀刻温度每升高12摄氏度，蚀刻速度增加0.7-1倍。但温度如无限制升高（温度为溶液沸点），虽然能加快金属蚀刻的速度，但是温度太高，蚀刻过程难于控制，加上过高的温度也容易*防蚀层，并使蚀刻后铝合金表面粗糙度升高，蚀刻温度一般以80-100摄氏度为宜。