技术参数
线性精度1
±（1.5+|0.2h|）μm
圆弧2
±（2+r/8）μm
角度3
±2′
直线度4
0.8μm/100mm
运动控制
x轴驱动方式
电动
z轴驱动方式
电动
x轴驱动速度
0.1~10mm/s
z轴驱动速度
0.5-10mm/s
注：1、h为水平位置上的测量高度；2、2mm＜r＜10mm的标准球，取样圆弧夹角为120°；3、60°、90°的角度块，角边取样长度为5mm；4、λc为2.5mm，测量速度为≤0.3mm/s；5、2mm＜r＜10mm的标准球，取样圆弧夹角为120°6、以上参数均在20℃±5℃，阶梯温度不超过2℃/h的环境下测得；7、地面震动大rms
＜50hz2.5μm/s/＞50hz5.0μm/s。