主要特色:
导向系统为高速度长行程提供稳定的定向和导向保障;
强大的直线电机提供高负载能量和大驱动力;
高分辨率直线编码器(光栅尺)提供的定位反馈和闭环数字伺服控制;
具有制造的坚固耐用特性,高可靠性,*工作。
采用直接驱动的直线电机用于位移台的定位。
这种技术与传统的导螺杆驱动的位移台相比,具有明显的优势:
电动位移台没有螺杆驱动系统中出现的弹性形变问题,可保障更为复杂而精密的定位轨迹,更短的设置和行进时间,更高的重复精度,更快的伺服反应。这种技术没有旋转惯性,可获得更高的加速度和行进速度。消除了旋转部件的磨损问题,具有更高的可靠性,更长的工作时间和寿命,更长的检修间隔时间,大大降低用户的使用成本。 这种直接驱动的直线电机具有高分辨率的编码器,可以调节速度,这种电动位移台和其它部件可经过特殊处理具有真空兼容性,用于真空环境。
