1.隔膜损坏
隔膜真空泵的隔膜是由气压推动双向阀做高速运动，隔膜在做高速运动的同时还必须
维修方法：更换新的隔膜。由于隔膜式真空泵厂家的隔膜一旦损坏，隔膜真空泵就很难达到额定的压力，在高速运动下，对隔膜的损坏会越来越大。
2.单向阀磨损
单向阀磨损是因为介质在吸入泵壳时，介质中的杂质或颗粒撞击单向阀，使单向阀表面是光滑度降低，单向阀损坏，从而使得介质的压力和流量不足。
维修方法：对于单向阀磨损，分两种情况来解决。一当磨损不是很严重的情况下，可以用砂纸打磨单向阀表面，使接触面光滑，减少阀球和阀座的间隙;二如果单向阀磨损较为厉害，则更换单向阀。
3.双向阀堵塞
双向阀在高压气体的吹动下做往复运动，当高压气体有杂质或较为湿润时，很容易造成双向阀的堵塞。
维修方法：如果遇到双向阀堵塞时，需要隔膜式真空泵厂家进行双向阀的清洁工作。
提醒：双向阀在进行清理工作时需要小心谨慎，由于双向阀的零件都比较小，不起眼，很容易掉落，同时双向阀的密封要求又非常高。