手动匹配器
参数
指标
阻抗匹配范围
（2.7～45)ω-j(0～70)ω）
使用环境温度
0～40℃
相对湿度
<80%
结构尺寸
500w：440×220×100mm3；面板480×100mm2
1000w：440×320×120mm3；面板480×140mm2
自动匹配器
自动匹配器
产品特点及性能指标
1、自动快速调节匹配网络
2、实时显示入射功率及反射功率变化，指示精度3%
3、显示自编压
4、实时显示电容位置变化，可明显展示工艺阻抗变化的特征
5、采用真空电容调节（1kw以上）
6、具有自动控制和手动控制两种模式
7、电源输入：220v
8、提供配合射频电源的反射功率保护信号，与射频电源配合使用
9、直流电机驱动，保证运行期间合适的速率，从而提高匹配网络的稳定性
10、规格：500w—10kw