在存在惰性气流的石墨坩埚中对分析样品加热熔融，其中能够自由设定脉冲炉温度，并且利用一个非接触式的光学温度传感器来进行实时监控，用来使完*分解样品实现。载气将反应所生成的混合气体往高灵敏度的红外检测器和热导检测器中带入并进行检测。
氧氮氢分析仪的工作流程：
在氧氮氢的测定中，将称量后的试样放在石墨坩埚中，在氦气气流中通过高温加热熔融。试样中的氧与石墨坩埚中的碳反应生成一氧化碳，试样中的氮、氢以氮气和氢气的形式逸出，这些混合气由氦气送到转化炉中，一氧化碳转化为二氧化碳。通过转化炉后的混合气体被送到红外检测池中，在这里二氧化碳被检测。然后，剩余的氮气、氢气通过热导检测池被检测。