特点
· 1~3维自由组合
· 大行程68μm
· 大承载5kg
· 亚毫秒响应时间
体积小、刚度大、响应速度快、闭环精度高
xp-63x系列压电纳米定位台特殊的结构设计，具有大机械刚度、大承载、更高的空载谐振频率等特点。负载情况下也具有很高的使用频率，响应时间可以实现亚毫秒级。例如xp-630带动20g负载，响应时间仅为5ms。xp-63x系列产品体积小巧，xp-630一维尺寸仅为60×45×18mm，易于与其他平台设备集成。
闭环版本配置应变传感器，可实时检测位置信号并反馈给闭环控制器，控制器通过pid算法对检测到的位置信号进行修正，从而实现纳米级的精密定位。
技术参数
xp-633.xs
运动自由度： x
标称行程范围（0~120v）：48μm
大行程范围（-20~150v）：68μm
传感器类型：sgs
闭环分辨率：2nm
闭环线性度：0.15%f.s.
闭环重复定位精度：0.1%f.s.
推/拉力：480/80n
刚度：10n/μm
空载谐振频率：1.5khz
大承载：5kg
静电容量：7.2μf
材质：铝
重量：450g
应用实例
采用xp-633压电纳米定位台带动探针作精密位移定位检测控制，从而完成1mn的力控制实验。
xp-633压电纳米定位台配套二维宏动台组成宏微复合机构，应用于精密加工中。
推荐控制器
xp-633为一维压电纳米定位台，推荐使用e53.d小体积压电控制器，体积小巧，易于集成。
e53.d压电控制器
·e53.d
·0~120v/150v输出
·模拟、上位机通信控制
·带宽10khz
·尺寸80×148×27.5mm
kerning:1.0000pt; >e01.d1压电控制器
·e01.d1
·0~120v/150v输出
·平均功率7w/35w
·上位机通信、模拟、旋钮控制