真空低温等离子处理机等离子体处理一直被视为微电子和半导体封装工业中的一个重要工艺。引入合适的等离子工艺之前，等离子清洗可使接合面更加干净，从而减少产品的故障。其潜在好处是改进了柔性材料表面活性，提高了设备的可靠性，并消除了由于非系统性影响而产生的偏差，例如，由于不可控因素而造成的表面随机污染。
低温等离子处理机有“炼金术”或“黑盒”的光环，等离子体对引线连接过程的性能以及封装器件的长期可靠性作出了贡献。等离子体有双重优点：改进引线连接过程本身，保证器件的长期可靠性。以便在线接合之前通过等离子体清洗大大提高其制造工艺和产品的质量和成功率，真空低温等离子处理机等离子体是一个独立的系统。它既节约能源，又占用较小的空间，使加工能力大化，同时使生产基础面积小化。
真空低温等离子处理机双层架式机箱可以在一个周期内装20个30x35英寸的面板，而多功能水平架式机箱可以处理多种不同的弹性pcb尺寸，并且可以方便地加载。高效的防污刻蚀技术可以去除环氧树脂、聚酰亚胺、混合物和其它树脂，同时具有除尘能力，能有效地去除内层和面板上的抗蚀剂残留物以及残留的焊膏渗出物，从而提高粘接和可焊性。