探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在硅晶片上,从而可以与测试仪器/半导体测试系统配合来测试芯片/半导体器件。这些测试可以很简单,例如连续性或隔离检查,也可以很复杂,包括微电路的完整功能测试。可以在将晶圆锯成单个管芯之前或之后进行测试。在晶圆级别的测试允许制造商在生产过程中多次测试芯片器件,这可以提供有关哪些工艺步骤将缺陷引入*终产品的信息。它还使制造商能够在封装之前测试管芯,这在封装成本相对于器件成本高的应用中很重要。探针台还可以用于研发、产品开发和故障分析应用。
激光探针台服务内容:
1、激光打标;
2、表层修复线路(利用激光将两层金属线熔融连接);
3、驱除短路点;
4、激光断线;
5、干扰芯片测试;
除了以上几项之外激光探针台兼备常规探针台功能:
1.微小连接点信号引出
2.失效分析失效确认
3.fib电路修改后电学特性确认
4.晶圆可靠性验证
