电动执行机构与气动执行机构从总体上来讲，电动执行机构比气动执行机构要贵，但也要因具体要求及场合而定。有些小功率的直流电机构成电动滑台(电动执行机构)实际上比气动执行机构要便宜。如：当负载为1.5kg、工作行程为80mm、速度在2~170mm/s之间、精度为¡0.1mm、加速度2.5m/s2等工况条件时，采用小型电动滑台、控制器、马达电缆、控制电缆、编程电缆以及电源电缆等组成的电动执行机构，其价格就比气动执行机构便宜25%。同样，对于带活塞杆电缸也是如此。需要说明的是如果采用交流电机的话，所组成的电动执行器的价格要比气动执行器高出40%左右。
气动执行机构与气动执行机构从购买和应用成本来看，气动执行机构还是具有比较明显的优势的。对于气动系统来说，控制系统及执行机构都非常简单，每个气缸只需配置一个电磁阀就可完成气路的切换，进行运动控制，气缸发生故障的概率也比较小，维护简单方便，成本也低。
电动执行器相对于气动执行器来说，电能的获得比较简单，能量成本较低，但购买及应用成本较高，需要配置电机和一套机械传动机构以及相应的驱动元件。使用电动执行器需要很多保护措施，错误的电路连接、电压的波动及负载的超载都会对电驱动器造成损坏，因此需要在电路及机械上加装保护系统。另外，由于电动执行器驱动单元的参数化设置较多，且集成度高，所以其一旦发生故障，就要更换整个元件。而且当系统需要的驱动力增加时，也要成套更换元件才能实现。