不同的空间杀菌浓度不一样，下面是净化车间、化妆品、食品车间、纯净水的臭氧杀菌标准。
净化车间、洁净区臭氧杀菌浓度标准
等级区别
1：三十万净化级取c = 2.5ppm
2：十万净化级级取c = 5ppm
3：万净化级取c = 15ppm
4：百级取c = 20ppm
化妆品车间臭氧浓度，化妆品包材消毒臭氧标准
化妆品车间厂、化妆品包材间等场所进行消毒时，空气中的臭氧浓度需达到10-20 mg/m3，并且要密闭作用30分钟的时间。消毒时人不可在现场。
食品厂、食品车间臭氧发生器浓度标准
按照要求臭氧浓度在1.0-1.5ppm，每m３每小时臭氧量为2.5-3.5mg/h，每天班后开机送o3气体90分钟。
纯净水水中臭氧浓度投加量
纯净水水中臭氧浓度0.2-0.4mg/l，臭氧投加量2-3g/t