SiC同质外延厚度分析

2025/7/8 1:11:10发布22次查看

钝化层分析钝化层作为保护层、绝缘层或抗反射层，在半导体材料中扮演着重要的角色。 vertex 系列光谱仪是分析钝化层的理想工具，它可以实现快速灵敏的无损分析。
磷硅玻璃(psg)和硼磷硅玻璃(bpsg)中硼和磷的定量分析分析sin等离子层和si-o基钝化层分析超低k层
厚度分析 vertex 系列光谱仪可用于测量半导体层状结构中的层厚度，精度*。此应用是基于对红外光在层状结构中产生的光干涉效应的分析，可用于亚微米量级至毫米量级的厚度分析。
用反射或透射实验分析层厚度。的分析软件，用于分析复杂的层状结构。可选薄膜扫描成像附件，可测量直径至12”的硅晶片。

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SiC同质外延厚度分析

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