ccq系列气动超高真空插板阀
ccq系列气动超高真空插板阀是以压缩空气为动力，通过电磁换向阀改变气路方向，控制气缸活塞，驱动阀板作上下运动，使用阀门开启或关闭，用于接通或切断真空管路中的气流。
适用的工作介质为纯净空气和非腐蚀性气体。
带反馈信号装置。
气动超高真空插板阀主要零件材料：
阀体、阀板：不锈钢。
密封件：氟橡胶、波纹管(轴封)、丁腈橡胶。
气动超高真空插板阀主要技术性能：
适用范围(pa)
　105～1.3×10-7pa
阀门漏率(pa.l/s)
　≤1.3×10-7pa.l/s.(dn≤200) 　≤6.7×10-7pa.l/s.(dn≥250)
适用温度（℃）
　-30～+150℃
阀门开启时阀板两侧的压差(pa)
　≤2.7×103pa.
气源压力 （mpa）
　0.4～0.6mpa
电源电压v/hz
标准出厂：ac220v/50hz
特殊指定：ac110v；dc24v；dc12v等
信号反馈
标准出厂：不带反馈信号
特殊指定：磁性开关dc/ac5～240v
气动超高真空插板阀外形及连接尺寸
型号
dn
a
h
d
do
d1
d2
d3
l
l1
g
e
n-d
法兰标准
ccq-50
50
60
92
89
72.4
61.6
55.6
515
153
220
65
8-m8
gb6071
ccq-63
63
65
105
114
92.1
82.6
76.6
566
180
220
80
8-m8
ccq-80
80
65
130
130
110
99
93
603
200
220
80
16-m8
ccq-100
100
70
152
152
130.2
120.7
114.7
653
267
220
95
16-m8
ccq-150
150
70
202
202
181
171.5
165.5
771
350
270
95
20-m8
ccq-200
200
80
251
253
231.8
222.3
216.6
889
424
270
115
24-m8
ccq-250
250
85
300
314
288
308
275
271
1127
574
350
140
24-m10
jb5278
ccq-300
300
85
352
365
338
353
323
318
1197
613
420
140
32-m10
ccq-320
320
85
372
385
357
379
344
340
1197
613
440
140
36-m10
jb5278
ccq-400
400
110
456
497
454
480
440
436
1666
810
536
180
36-m12
ccq-500
500
135
595
590
555
580
540
536
1835
870
640
220
40-m12
ccq-630
630
135
690
700
658
680
639
635
1930
960
780
280
40-m16
ccq-800
800
150
880
890
855
880
835
831
2200
1100
950
350
60-m16

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