吉时利s530半导体参数参数系统是为处理工艺控制监测，工艺可靠性监测和器件特性测量中要求的dc和c-v测量而设计的。这些参数参数系统用于各种器件及工艺的量产环境和实验室环境。对特殊应用，s500集成参数系统提供了半定制配置功能。
s530参数测试系统功能
灵活的探测器接口选项，包括测试头，支持原有吉时利和 keysight 装置 行业标准的 kte 软件环境 触摸一次探头即可完成高压和低压参数的测试 通过全新系统参考单元 (sru) 进行全自动系统级校准符合新质量标准 kte 7 中的运行状况检查软件工具大限度地延长系统正常运行时间和提高数据完整性 内置的瞬态过电压和/或过电流事件保护可大程度地减少代价高昂的系统停机或对晶片造成损坏 符合 iso-17025 校准要求并支持 iatf-16949 合规性 提供 secs/gem 与 300 毫米晶圆厂的集成 s530低电流参数测试系统
线序和针数：高达60针；
smu通道数：2-8条；
电压：200v;
电流：1a
s530高压参数测试系统
smu通道数：2-8条；
电压：1100v;
电流：1a
s530参数测试系统亮点：
高达1mhz的c-v测量功能；
兼容全自动探针装置；
20w smus提供高达1a或200v;
1kv smu到任何系统引脚（s530高电压）；
pa电流测量功能（s530低电流）；
多达60针kelvin(s530高电压或s530低电流)