1、引言
南阳中光学机电装备有限公司真空技术公司是中光学集团的全资子公司，是国内实力较强的中真空镀膜机专业生产厂家，产品涉及光学镀膜、激光薄膜、金属薄膜、树脂镀膜等多个领域。公司立足于化合作与化的采购，公司聘请了多名、国内的真空方面的专家、教授、拥有大批科研人员，注重技术创新，自主研发的omc-200b光学膜厚控制仪、ebg系列电子枪等镀膜设备的核心部件，已经赶超*水平。针对客户各种需求，努力为用户提供*性能的镀膜设备，永远是我们的奋斗目标。
2、应用设计
2.1控制要求
由于客户属于半导体行业的实际情况，当时客户对控制系统提出了以下几点要求：
1、系统要稳定可靠，可长时间无人值守自动运行。
2、可以保存多组配方，并能按预先设定的配方自动镀膜。
3、工艺参数实时可调。
4、数据参数可以保留。
5、要为以后的组网余留通讯接口。
2.2系统分析
根据客户提出的控制要求，系统要能够手动自动灵活控制。因此我们选用了稳定可靠的hitech人机，该人机不但能保存大量的工作数据，而且可用cf卡的方式供用户保存工艺及膜系数据，也可以将镀膜数据在电脑上修改后经由cf卡传回触摸屏，这样管理数据非常方便。
另外，由于hitech人机提供了强大的宏指令，而且宏指令的编辑非常简单易学。所以通过宏指令使人机来和晶体膜厚监控仪通讯很容易。人机接收到监控仪上的数据后，通过宏指令进行算术运算，然后进行逻辑判断，再发信号给plc，来控制设备的自动运行。
经过上述分析，我们提出了以下控制方案：
控制系统框图
2.3基本电气结构和配置情况，如下
a．数值量输入输出，实现现场信号的采集和按工艺要求做逻辑控制输出
b．利用屏的双串口双驱功能和plc，晶体控制仪器同时通讯。用通讯方式实现仪器的命令控制，省去很多硬接线麻烦，简化了控制系统结构。各工艺参数设定，实时数据显示，报警提示等都可以在人机上直接操作，真正体现了人际交互功能。
2.4抽气系统画面
2.5工艺参数画面及宏指令
画面1
画面2
所用部分宏指令截图
此系统可实现客户要求，并保存当前的实际膜系要求信息到晶体膜厚控制器中的工艺及材料参数中。
下一步，用户要求也可以根据自己膜系软件计算的结果，通过cf卡直接读取到触摸屏上，也可以把工艺参数和材料参数保存到cf卡中，方便用户把数据保存，供人们在计算机上查询。
3.1自动化功能特点体现
镀膜机自动化水平的高低也是衡量其现代化水平的重要标志。提高自动化水平，不仅可以减轻操作人员的劳动强度和看管负担，还可减少镀膜机的人为故障、提高机器的运转率及产品的质量。其主要体现在如下：
1.采用工艺参数的在线调整：如在镀膜机正常运转时，若基片的某项质量指标出现问题，可直接通过hmi进行工艺参数调整。
2.一旦故障产生，显示机器出故障的位置，以便现场人员维护，十分人性化。
3.2实施效果
在此系统中hitech人机发挥了他强大优势：①大量的数据存储功能，供客户存储3个月的数据。②方便的宏指令功能，可通过串口模式把存储的数据传送到控制仪器上（plc和晶体末后监控仪）。③6万4千色的真彩显示，可方便的组态丰富的画面。④余留有串口和以太网接口，为以后的系统扩充留下空间。⑤cf卡的数据存储提供了极大的便利。
4、结束语
此系统在北方夜视昆明有限公司已经稳定的运行了半年的时间，得到了公司领导的认可，并给于充分肯定。