自来水经过精密滤芯和活性炭滤芯进行预处理，过滤泥沙等颗粒物和吸附异味等，让自来水变得更加干净，然后再通过反渗透装置进行水质纯化脱盐，纯化水进入储水箱储存起来，其水质可以达到三级水标准，同时反渗透装置产水的废水(亦称“浓水”)排掉。反渗透纯水通过纯化柱进行深度脱盐处理就得到一级水或者超纯水，后如果用户有特殊要求，则在超纯水后面加上紫外杀菌或者微滤、超滤等装置，除去水中残余的细菌、微粒、热源等。
精密滤芯、活性炭滤芯、反渗透膜、纯化柱都是具有相对寿命的材料，精密滤芯和活性炭滤芯实际上是对反渗透膜的保护，如果它们失效，那么反渗透膜的负荷就加重，寿命减短，如果继续开机的话，那产生的纯水水质就下降，随之就加重了纯化柱的负担，则纯化柱的寿命就会缩短。终结果是加大了超纯水机的使用成本。
超纯水机采用了*的反渗透技术和离子交换技术相结合的方式，使用的增压泵、电磁阀、高容量离子交换树脂、r.o反渗透膜、滤芯、管路连接件、控制原件、紫外灯等均采用国外厂家的产品。由于澳科浦（okp）系列超纯水器采用微电脑单板机程序控制，水质检测自动显示，从而获得了高质量的产出水，它的出水电阻率一般均可达到18mω*cm。澳科浦（okp）系列超纯水器与国外同类产品相比，它的整机的价格和更换配件的费用仅为国外的三分之一左右，同时它还具有操作简便、安装方便等优点。
超纯水机采用的主要是反渗透膜技术。超纯水机工作原理是对水施加一定的压力，使水分子和离子态的矿物质元素通过反渗透膜，而溶解在水中的绝大部分无机盐(包括重金属)，有机物以及细菌、病毒等无法透过反渗透膜，从而使渗透过的纯净水和无法渗透过的浓缩水严格的分开;反渗透膜上的孔径只有0.0001 微米，而病毒的直径一般有0.02-0.4微米，普通细菌的直径有0.4-1微米。