石墨舟镀膜后硅片会变色?分析可能原因:温度过高或工艺时间太长前面提到有些客户反应,新舟直接上去使用没有问题清洗后容易出现。所以一个好的镀舟工艺非常的重要。正常的镀舟可以满足工艺正常生产需要,pecvd石墨舟,镀舟不足会造成生产时工艺的化学反应被石舟吸收造成硅片镀膜不良,吃的太饱”就容易造成硅片的四周发白。因为我们的舟片是镂空的,硅片的四周是同舟片相接触的,pecvd石墨舟厂,从而造成四周的生长速率加快,pecvd石墨舟供应,形成片子四周发白(偏白)此点建议从镀舟工艺上调整。
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石墨舟是正负间隔连接的,可以等效看成是多个电容器的并联,石墨舟的工艺特性主要决定于它的结晶形态。结晶形态不同的石墨矿物,石墨舟,具有不同的工业价值和用途。深圳市石金科技股份有限公司专门为模具行业、机械行业、真空热处理炉、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料、石墨电*和相关的石墨制品,石墨舟厂,太阳能电池工艺设备的石墨舟及配件、c/c复合材料和保温隔热用石墨毡和软毡等多产品。pecvd石墨舟
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