水汽捕集器与真空泵抽除气体不同,他是将一个能达到-120℃以下的制冷盘管,放置在真空箱体内或油扩散泵泵口,利用meissner原理,使水蒸汽,油蒸汽快速凝结在制冷盘管表面,以达到快速抽真空,提高生产效率,提高镀膜质量的目的。因此,低温捕集泵与真空泵配合使用,较之单独使用真空泵会大幅提高生产效率,提高产品质量。
在实际应用当中,根据所放的位置不同可以分为两类:
1、它的制冷盘管通常被安装在高阀(或插板阀)与真空腔之间或真空腔内,卷绕镀膜上下室内等部位。适用于光学镀膜、卷绕镀膜、金属镀膜、塑胶低温镀膜等镀膜材料放气量较大的场合。盘管有加热除霜装置,使盘管每次开门之前恢复到常温,避免制冷盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜,影响下次抽真空。
2、放在油扩散泵的泵口,高阀以下,它主要功能是防止油扩散泵返油,同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态,无需除霜装置。
3、根据需要,二者可以分别安装或者同时安装。
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